eFOSB300-A
- 符合 SEMI及FIMS (即前开接口标准)规范;
- 适配各型自动化处理平台，减少因人为操作带来的污染;
- 兼容自动或手动开/合;
- 采用了超净及微外泄气体的材质;
- 为晶圆提供 高效，可靠，持久的 洁净环境;
预装PURGE阀门，在前门闭合的情况下 也可实现对内腔的净化。
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